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極紫外光微影—延續摩爾定律的重要技術

出處 臺灣大學電子工程學研究所 作者 李建霖、蔡坤諭 年份 2021/04
報告類型 能源簡析 分類 |原子科技及民生應用 資料時間 2021年1月

一、前言

        摩爾定律(Moore's Law)為描述計算硬體歷史上的一個長期趨勢：該定律為英特爾公司的聯合創始人和名譽主席Gordon E. Moore博士長期觀察所提出的經驗法則，意思是因半導體製程技術的提升，積體電路上可以相對低價置入的電晶體數量大約每18個月至兩年增加一倍(如圖1)[1]，又電晶體為執行運算的基本單元，因此晶片性能也將提升一倍。該定律為Moore博士首先在1965年的一篇開創性文章中提出[2]，並於國際電子元件會議(IEDM)[3]、國際光電工程學會的微影技術研討會(SPIE)[4]和國際固態電路研討會(ISSCC)[5]等重要的國際半導體領域會議中持續探討至今。在所有演講中，微影(lithography)作為半導體製造中定義電路圖像的關鍵製程，始終被認為是讓摩爾定律持續有效的關鍵技術和經濟因素之一。甚至可以說，摩爾定律的過去和未來與微影技術的不斷發展和突破有著非常密切的聯繫。而半導體製程中的微影技術可說是整個半導體工業相當關鍵的製程，因為目前花費在微影製程的經費往往佔整個元件製作絕大部份的成本，而且這個比例尚有逐年增加的趨勢，其重要性不言可喻。然而隨著摩爾定律逐漸走到物理極限，傳統技術已無法繼續微縮晶片，此時極紫外光(EUV)微影機就在眾多技術下突破重圍並且克服諸多困難被開發出來，繼續引領半導體產業邁入下一個摩爾定律的十年。

 

圖 1 摩爾定律示意圖：積體電路上可容納的電晶體數量約每隔18個月至2年便會增加一倍。

 

二、光學微影技術

        半導體產業之所以能快速發展，有很大一部分原因要歸功於光學微影技術， 1970年代，利用汞燈產生的g-line(436 nm波長)的曝光系統問世時，光學微影就因其高效率和產能開始成為半導體製造的主流。光學微影的解析度大致可以用下列數學式表示

其中R代表光學微影的解析度極限；λ表示在真空中光的波長；NA代表成像系統的數值孔徑(Numerical Aperture)；k1為包含製程相關因子的係數。爾後隨製程線寬不斷微縮，光源波長也從i-line(365 nm 波長)到利用惰性氣體和鹵素分子結合激發的深紫外光(DUV)準分子雷射光源，如氟化氪(KrF)產生的248 nm波長和氟化氬(ArF)的193 nm波長等。

        目前，領先的積體電路製造商所採用的光學投影式微影技術(OPL)，使用 DUV波段的曝光波長(波長=193 nm)、NA接近0.95的高數值孔徑投影透鏡、離軸照明和浸潤技術(n=1.437)[6]，使得在一次曝光能中解析出密度高達45 nm的半間距的電路圖案。目前最先進的OPL系統和浸潤式透鏡的示意圖如圖2所示[7]。由於波的繞射，該系統最小可解析的半間距可用下列數學式表示

其中為部分同調係數，等於照明和投影光學元件之間的NA比（即=NAp/NAi）[8]。由於材料上的重大困難，進一步降低DUV波長和增加浸潤液的折射率在經濟上已被認為不可行，而NAp和也已提高到接近其理論極限（均為1.0），因此，人們普遍認為45 nm半間距技術節點是單次曝光OPL的最後一個節點。後續技術節點將在維持曝光系統不變的情況下採用解析度增進技術(RET)和多重曝光技術(透過重複對準曝光提升同一層圖案密度的技術)，使OPL解析度能繼續擴展到32 nm以下半間距技術節點。圖3所示為各種間距分割製造流程和結果的示意圖[12]。目前直到10/7 nm的前瞻製程節點都在可接受的成本、效率及產能下採用了上述技術持續微縮製程。然而，在7 nm半間距節點以下，繼續增加OPL多重曝光次數造成製程複雜度和成本的提升將無法負荷，因此半導體產業只能再次更換波長更短的光源，如13.5 nm波長的極紫外光微影技術（EUVL）或非OPL技術，如電子束直寫微影技術（EBDWL）等無光罩曝光技術。最終，在產學研的合力研發下，EUVL成功克服重重困難於7/5 nm技術節點開始肩負起晶片量產製造中的關鍵製程，並且可望在合理的成本下採用多重曝光技術將摩爾定律推進到3 nm以下技術節點。

 

圖 2 光學微影曝光機台及浸潤式鏡頭示意圖[7]

 

圖3 三種間距分割製造流程:(左)雙重曝光，(中)雙重製像，(右)自對準雙重製像[12]

 

三、極紫外光微影技術

        早在1980年代，美國及日本便開始研究利用X光波段(0.1-10 nm)進行微影製程的技術，但因為X光難以聚焦的特性，X光微影最初是使用鄰近曝光(proximity printing)的方式。此方法由於光罩和晶圓上的圖案大小接近1:1，因此需要搭配極高精確度的光罩生產技術才能發揮效益，即便研究後來轉向使用低能量X光投影式微影技術(Soft X-ray，使用波段基本上等同於現今的EUV)，但因為尚有許多困難如光源、多層反射膜等需要克服，加上當時主流的OPL技術已能應付量產需求，半導體產業目光便暫時專注於OPL相關技術上。直到近十幾年，OPL在可預見的未來將走到極限，產業界極需尋找下一代微影技術，此時EUVL才又再次受到重視。

        EUVL基本上可以看作是OPL的延伸，其曝光波長大幅降低到極紫外光波段(約10～121nm)，因此同樣遵循前述的OPL解析度公式。而其最主要的區別為聚焦用的鏡片，由於大多數材料在EUV波段下都具有很強的吸收性，因此傳統OPL所使用之折射透鏡和浸潤液都不適用。EUVL光學系統通常以多層膜反射式鏡片的形式實現。但由於每個多層膜鏡片在EUV波段下的反射率只有大約70%，因此光源功率一直都是EUVL量產的一大瓶頸，直到近年ASML回報的EUVL機台光源功率終於超過200W，才達到能夠量產的需求。除了光源以外，由於EUVL曝光劑量低造成的隨機效應，使得曝寫圖案的邊緣粗糙度(LER)往往不太理想，需要開發新的光阻搭配整體製程調整使LER降低至可容許範圍。突破上述關卡後，鏡片和光罩上的缺陷處理也是一大問題，因為EUV波長只有13.5 nm，任何奈米等級以上的灰塵或缺陷都會影響到生產良率，國內晶圓代工龍頭廠商也因為搶先其他競爭對手處理好防塵的問題，而在導入EUVL技術於量產上奪得先機。

第一代量產型EUV機台的曝光波長為13.5 nm，NA在0.25～0.35之間，採用6個鏡面投影光學元件[9]。圖4和圖5為ASML所製造的EUV系統示意圖及最新世代所能達到的解析度 [7][10]。該曝光工具目前在7/5 nm技術節點上正式導入成為量產技術。

圖4 ASML極紫外光曝光系統示意圖[7]

圖5 12 nm半間距高密度線圖案之SEM圖[10]

 

四、結論

        摩爾定律走至今日已過50年，如國際元件和系統藍圖(International Roadmap for Devices and Systems; IRDS) [11]所提供的資訊所示，更高NA的EUV機台搭配RET或多重曝光技術應可製造出數奈米半間距的圖案，則半導體量產中最要的設備之一或許將走到盡頭，再搭配半導體元件如全繞閘極式元件(gate-all-around)等研發及導入。以推進摩爾定律再符合經濟效益下微縮半導體製程而言或許即將結束，但半導體產業的More than Moore則剛開始嶄露頭角，諸如3D積體電路，異質整合晶片、5G晶片等將繼續擴展半導體的應用及持續對人類帶來貢獻。

 

圖 6 國際元件和系統藍圖(International Roadmap for Devices and Systems; IRDS) [11]根據不同技術節點所建議使用的微影技術。

 

參考連結

  1. 維基百科：https://en.wikipedia.org/wiki/Moore%27s_law
  2. G. Moore, “Cramming more components onto integrated circuits,” Electronics 38(8), 1965
  3. G. Moore, “Progress in digital integrated electronics,” IEDM Tech Digest p. 11-13, 1975
  4. G. Moore, “Lithography and the future of Moore's Law,” Proc. SPIE Vol. 2437, May 1995
  5. G. Moore, “No exponential is forever: But forever can be delayed!”, ISSCC 2003
  6. B. J. Lin, “Immersion lithography and its impact on semiconductor manufacturing,” J. Microlithography, Microfabrication, and Microsystems, Vol. 3, No. 3, 377–395, Jul. 2004
  7. ASML Images Customer Magazine, 2010.
  8. A. K.-K. Wong, Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography, SPIE Press, 2001
  9. C. Wagner et al., “EUV lithography at chipmakers has started: performance validation of ASML's NXE:3100,” Proc. SPIE 7969, 79691F, 2011
  10. IMEC：https://www.imec-int.com/en, “Imec demonstrates 24nm pitch lines with single exposure EUV lithography on ASML’s NXE:3400B scanner”
  11. International Roadmap for Devices and Systems, 2018 edition. Accessible at https://irds.ieee.org/
  12. H. Yaegashi et al., “Novel approaches to implement the self-aligned spacer double-patterning process toward 11-nm node and beyond,” Proc. SPIE 7972, 79720B, 2011

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